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捷克stroza硅錠鉆孔晶核設(shè)備工作原理及參數(shù)

  • 發(fā)布日期:2022-06-14      瀏覽次數(shù):3674
    • 企業(yè)介紹: 1998 年今天開始的地方。由于客戶對實施所提議的解決方案的興趣,一位自由設(shè)計師開始組建一家不僅能夠設(shè)計而且能夠?qū)嵤┱麄€機械的公司。自 2005 年以來,我們一直在自己的建筑中運營,我們已經(jīng)涵蓋了自動化所需的所有專業(yè),并且我們擁有自己的生產(chǎn)機器。2012年,我們購買并改造了原紡織廠的大樓,成為我們現(xiàn)在的總部和進一步發(fā)展的地方。

      捷克stroza硅錠鉆孔晶核設(shè)備應(yīng)用:汽車
      化學
      電工學
      半導體
      工程
      研究
      保健和藥學


      產(chǎn)品:硅錠鉆孔晶核設(shè)備 化學蝕刻線| 電線裝載自動化 于計謹和定向套 筒和艙|長度測量設(shè)備療產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備| Epifuse自動組裝 DS 1000配電系統(tǒng)
      加酸站
      自動倒管機千伏線
      鋼錠清洗化學生產(chǎn)線
      壓測試儀蝕刻硅 板的化學線EBR化學品分配系統(tǒng) 自動邏輯球罩組件

      捷克stroza硅錠鉆孔晶核設(shè)備產(chǎn)品型號:
      50950
      50700
      50120
      50100

      捷克stroza硅錠鉆孔晶核設(shè)備產(chǎn)品描述:
      該設(shè)備設(shè)計為用于蝕刻硅板的單用途自動箱。硅板的蝕刻和漂洗周期根據(jù)所選參數(shù)*自動化,操作人員只需執(zhí)行輸入材料的補充、產(chǎn)品的取出和工藝參數(shù)的選擇。該盒子專為兩個六英寸的籃子或一個八英寸的籃子而設(shè)計。使用的材料符合 FM 4910 標準。
      工藝槽(后部)專為化學混合物而設(shè)計。化學品通過循環(huán)回路。泵從溢流邊緣吸入浴缸,并通過流動加熱器將其返回浴缸底部。
      沖洗槽(前)充滿底部填料。為了更地沖洗 Si 板,將氮氣供應(yīng)到浴槽底部,從而導致 DEMI 水循環(huán)。快速排放由一對所謂的快速排放 (QD) 提供,它們是盤式氣動閥。

      捷克stroza硅錠鉆孔晶核設(shè)備產(chǎn)品屬性
      這個盒子是為兩個六英寸的籃子設(shè)計的或者一個八英寸的。所用材料符合FM 4910標準。工藝槽(后)設(shè)計用于化學混合物。化學物質(zhì)通過通過電路。泵從溢流邊緣吸入錫槽,并將錫槽吸入通過流量加熱器返回槽底。沖洗槽(前)充滿下部填料。實現(xiàn)更的清洗硅板被送入槽底部的氮氣中導致除鹽水循環(huán)。快速啟動由該對提供所謂的快速傾卸閥(QD),為盤式氣動閥。
      •該設(shè)備設(shè)計用于半導體生產(chǎn)的潔凈區(qū)域。
      •該裝置的底座為箱形骨架,可實現(xiàn)支撐結(jié)構(gòu)的功能保護環(huán)境免受骨架內(nèi)部危險因素的影響。
      •骨架由TAKIRON材料制成。
      •在骨架的處理部分,有一個帶鉸鏈蓋的透明蓋(PVC玻璃)。
      •工藝和沖洗槽安裝在骨架的工藝部分。
      •其下方空間用于收集和排放沖洗水。
      •如果排水管堵塞,應(yīng)保護集水區(qū)
      洪水浮子傳感器。
      •PVDF材料制成的后蝕刻槽的填充體積:55升(槽體積)
      +3升(循環(huán)回路的體積)
      •液位測量
      •帶隔膜泵和流量加熱器的循環(huán)回路
      -槽溢流邊緣的抽吸
      -通過穿孔底部在浴槽底部擠壓
      -循環(huán)回路流量調(diào)節(jié)
      -將除鹽水泵入循環(huán)回路
      •流動加熱器加熱和循環(huán)
      •獨立測量熔池溫度的熱電偶。它還用作
      超限報警元件槽的高允許溫度。
      •由PVDF材料制成的前沖洗槽的填充體積為45升
      •使用一對快速排放閥快速排放
      •低液位傳感器(浴缸排水)
      •通過氮氣鼓泡(鉆孔底部)提高沖洗效率
      帶氣泡強度控制
      •在清洗槽更換期間,一對淋浴器浸泡硅片
      •每個淋浴器允許獨立的流量控制
      •搬運帶有硅板托盤的搬運籃的機械手
      •帶計量的伺服電機(系統(tǒng)知道其位置)即使在斷電后)
      •在盒子的背面有一個布線空間和化學空間
      帶液壓元件。
      基本技術(shù)數(shù)據(jù)
      長度:880 mm
      寬度:1290 mm
      高度:2230 mm
      重量:270 kg
      電源:3 NPE 400/230V AC 50Hz TN-S


    聯(lián)系方式
    • 電話

      86-0411-87187730

    • 傳真

      86-0411-87317760

    在線客服
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